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石墨烯與氮化硼異質(zhì)結(jié)構(gòu)器件的集成

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201980015992.6
  • IPC分類號(hào)：H01L21/22;H01L21/328;B82B1/00
  • 申請(qǐng)日期：
    2019-03-04
  • 申請(qǐng)人：
    德克薩斯儀器股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱石墨烯與氮化硼異質(zhì)結(jié)構(gòu)器件的集成
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201980015992.6申請(qǐng)日期2019-03-04
法律狀態(tài)實(shí)質(zhì)審查申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日2020-10-16公開(kāi)/公告號(hào)CN111788657A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)H01L21/22
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IPC結(jié)構(gòu)圖譜：
IPC分類號(hào)H;0;1;L;2;1;/;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;8;;;B;8;2;B;1;/;0;0查看分類表>
申請(qǐng)人德克薩斯儀器股份有限公司申請(qǐng)人地址
美國(guó)德克薩斯州 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人德克薩斯儀器股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人德克薩斯儀器股份有限公司
發(fā)明人A·維諾戈帕;L·哥倫布
代理機(jī)構(gòu)北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人趙志剛
摘要
一種微電子器件(100)，其包括門(mén)控石墨烯組件(102)。門(mén)控石墨烯組件(102)具有包含一層或更多層石墨烯的石墨層(114)。石墨層(114)具有溝道區(qū)域(116)、鄰近溝道區(qū)域(116)的第一接觸區(qū)域(118)和鄰近溝道區(qū)域(116)的第二接觸區(qū)域(120)。圖案化六方氮化硼(hBN)層(128)被設(shè)置在溝道區(qū)域(116)上方的石墨層(114)上。柵極(130)位于溝道區(qū)域(116)上方、圖案化hBN層(128)之上。第一連接(122)在第一接觸區(qū)域(118)中被設(shè)置在石墨層(114)上，并且第二連接(124)在第二接觸區(qū)域(120)中被設(shè)置在石墨層(114)上。圖案化hBN層(128)沒(méi)有完全延伸到第一連接(122)之下，也沒(méi)有完全延伸到第二連接(124)之下。

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