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工件保持裝置、檢查裝置及工件位置校正方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201780081005.3
  • IPC分類號：G01N21/95;G01N21/84
  • 申請日期：
    2017-11-09
  • 申請人：
    株式會社斯庫林集團(tuán)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱工件保持裝置、檢查裝置及工件位置校正方法
申請?zhí)?/td>CN201780081005.3申請日期2017-11-09
法律狀態(tài)實(shí)質(zhì)審查申報(bào)國家中國
公開/公告日2019-08-09公開/公告號CN110114658A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號G01N21/95IPC分類號G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;N;2;1;/;8;4查看分類表>
申請人株式會社斯庫林集團(tuán)申請人地址
日本京都府 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人株式會社斯庫林集團(tuán)當(dāng)前權(quán)利人株式會社斯庫林集團(tuán)
發(fā)明人西村友詳
代理機(jī)構(gòu)北京市金杜律師事務(wù)所代理人陳偉;王娟娟
摘要
使工件的對稱軸與保持該工件并使其旋轉(zhuǎn)的工件保持裝置的旋轉(zhuǎn)軸高精度地一致。包括：保持臺，其具有：保持工件的卡盤機(jī)構(gòu)、支承卡盤機(jī)構(gòu)并使卡盤機(jī)構(gòu)在與旋轉(zhuǎn)軸正交的方向移動而對工件進(jìn)行定位的定位機(jī)構(gòu)、和通過使定位機(jī)構(gòu)繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)而使保持于卡盤機(jī)構(gòu)的工件繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；對準(zhǔn)用拍攝部，其對保持于卡盤機(jī)構(gòu)的工件的外周部進(jìn)行拍攝；偏心檢測部，其基于由對準(zhǔn)用拍攝部對在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的作用下旋轉(zhuǎn)的工件進(jìn)行拍攝所取得的圖像，檢測對稱軸相對于旋轉(zhuǎn)軸的偏心；和工件位置校正部，其通過定位機(jī)構(gòu)使卡盤機(jī)構(gòu)移動而以使對稱軸與旋轉(zhuǎn)軸一致的方式進(jìn)行工件的位置校正，以消除偏心。

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