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自動(dòng)掃描探針成像的方法和設(shè)備

發(fā)明專(zhuān)利有效專(zhuān)利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN200880115559.1
  • IPC分類(lèi)號(hào)：G01N13/10;H01J37/26
  • 申請(qǐng)日期：
    2008-09-12
  • 申請(qǐng)人：
    威科儀器公司
著錄項(xiàng)信息
專(zhuān)利名稱(chēng)自動(dòng)掃描探針成像的方法和設(shè)備
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN200880115559.1申請(qǐng)日期2008-09-12
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日2010-10-06公開(kāi)/公告號(hào)CN101855534A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類(lèi)號(hào)G01N13/10IPC分類(lèi)號(hào)G;0;1;N;1;3;/;1;0;;;H;0;1;J;3;7;/;2;6查看分類(lèi)表>
申請(qǐng)人威科儀器公司申請(qǐng)人地址
美國(guó)加利福尼亞州 變更 專(zhuān)利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人布魯克納米公司當(dāng)前權(quán)利人布魯克納米公司
發(fā)明人蘇全民;謝爾蓋·別利科夫
代理機(jī)構(gòu)北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人顧晉偉;王春偉
摘要
一種操作掃描探針顯微鏡(SPM)(10)的方法，包括在所述SPM(10)的探針(14)與樣品(22)相互作用時(shí)掃描所述樣品(22)，以及收集響應(yīng)于所述掃描步驟(36)的樣品表面數(shù)據(jù)。所述方法從所述樣品表面數(shù)據(jù)識(shí)別(38)所述樣品(22)的特征，并且基于所述識(shí)別步驟(38)以自動(dòng)執(zhí)行所述特征的放大掃描(42)。所述方法操作為快速識(shí)別和確認(rèn)目的特征如納米微刺(asperity)的位置，以有助于執(zhí)行所述特征的定向高分辨率成像。

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